近日

为弘扬新时代科学家精神

树立科学家榜样

《科学中国人》杂志盘点回顾了2022年度

科技领域的杰出代表

西安电子科技大学党委副书记杨银堂

荣获“影响力科学家”称号

本次“影响力科学家”由30位科技工作者构成，颁发给那些在各自领域取得突破性进展，对我国科技进步产生重大影响的科技工作者，研究覆盖了航空航天、人工智能、医学、农业、新能源等多个领域。

科学中国人年度人物评选始于 2002 年，曾评选出袁隆平、杨振宁、顾秉林、屠呦呦、师昌绪、潘建伟、王小谟、曾庆存、施一公等多位知名科学家和企业家，是我国科技界具有专业品质和重要影响力的一项评选活动。

人物简介

西安电子科技大学党委副书记、教授、博士生导师。杨银堂的研究领域是半导体集成电路，也就是现在全球广泛关注的芯片技术。

1978年3月，作为恢复高考后的首批大学生，15岁的杨银堂以优异成绩考入西北电讯工程学院（西安电子科技大学前身）半导体专业学习，随后考取本校硕士研究生、毕业留校任教，开始了近40年的集成电路教学和研究生涯。

甘坐冷板凳，矢志筑梦中国“芯”

上世纪八十年代，半导体集成电路还是一个相对寂寞的专业，杨银堂从原始创新技术做起，在数据转换器集成电路设计、集成电路低功耗技术和三维异构集成方面默默耕耘，取得了突出成绩。

如何快速准确地将人类感知的连续性变换的模拟信号转换为数字信号是电子信息领域的一大技术难题，完成这一任务的芯片就是数据转换器，它也是雷达、通信、物联网系统的关键技术，直接决定着这些装备的性能。

面对美国和西方的垄断意图，杨银堂坚持自主创新，提出了新型可重构数据转换器的系统架构，研制了系列高性能数据转换器芯片，突破了模拟采样、数字校准关键技术。该技术可重构CMOS模数转换器IP核精度达到6-14位，达到了国际先进水平，满足了雷达、对抗、超声成像等系统对高速高精度数据转换技术的国家重大急需，提升了关键芯片的自主可控能力，目前已广泛应用于国家重点工程。

2000年，杨银堂带领团队再次承担国家重点工程微波ECRCVD设备研制任务，这是采用微波电子回旋共振等离子体方法进行集成电路薄膜制备和微细加工的新技术，但国内没有相应技术和设备，能参考的技术资料也少，研制难度很大。经过多次实验探索，杨银堂团队大胆提出了基于稀土永磁材料磁场的分布式ECR源，摒弃国际已有的同轴线圈磁场结构，使等离子体源的结构产生了革命性的变化，成本、体积、重量显著减小，等离子体密度、均匀性大幅提高。团队还攻克了大腔体气流场、衬底基座控制、等离子体诊断、气路系统等关键技术，啃下了一个又一个“硬骨头”。

为保证进度，杨银堂和同事在外协加工工厂附近的小旅馆里一住就是一个月，每天冒着零下20多度的严寒，与车间工人一起工作。在众人的努力下，等离子体放电实验一次成功，实现了优质介质薄膜的室温淀积与微细加工，达到国际先进水平，不仅入选国家重点新产品、应用于国家重大工程，更为我国超大规模集成电路工艺技术的发展做出卓越贡献。

攻坚克难，于微观世界“起高楼”

集成电路是电子信息工业的“食粮”，是大国博弈的战略焦点。随着微细加工水平的不断提高，集成电路面临量子力学物理极限和工艺极限两大难题，加之关键设备被禁运，许多国家重大工程急需的芯片供不应求。

面对严峻局面，杨银堂迎难而上，经过长期研究，提出了多芯片组件的路线，以低温共烧陶瓷材料为多层布线基板，将多个裸芯片组装于陶瓷基板上，实现大规模多种芯片三维集成。他还带领团队将集成电路由单片平面拓展到多片三维异构集成，在国内有限条件下实现了我国自主可控集成技术，研制成功了微型雷达、光电导引前端等重点装备部件，并在国内率先开展硅片通孔互连和三维异构集成技术研究，实现了异质、异构三维集成，应用于国内第一条军用三维集成生产线，保证了重大工程的急需。

电子信息技术的广泛应用使得集成电路耗能问题日益凸显，成为亟待解决的重大技术问题。杨银堂带领团队突破了模拟集成电路低压低功耗技术，使单元器件功耗达到纳瓦级超低水平，推进了我国电子领域的节能减排，并荣获国家科技进步二等奖。

以身立教，潜心耕耘育桃李

作为一名高校教师，杨银堂始终坚守教学一线，主讲半导体集成电路等主干课程，出版《现代半导体集成电路》等4部教材。作为西电微电子学院首任院长，他与同事一起带领本学科跻身国内前列，获批首批示范性微电子学院、国家集成电路人才培养基地和国家工程中心。他先后培养博士生58人、硕士生214人，团队学生综合素质好、科研创新能力强，毕业后在各行各业表现突出——有的成长为国家级人才，有的成为行业主流公司创始人，大批学生成长为知名科研院所和企事业单位的骨干。由他主持完成的“三好三有导学团队育人模式”项目获陕西省教学成果特等奖。

回首2022，我们收获满满

展望2023，我们充满信心

站在新的起点

西电人会继续脚踏实地

牢牢把握“强化国家战略科技力量”的使命召唤

聚焦自主创新，全力突破卡脖子技术难题

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加油！西电人！